采用簡單結(jié)構(gòu)，對應(yīng)高純度氣體，隔膜型經(jīng)濟(jì) 型。閥體使用SUS316L不銹鋼，對應(yīng)高純度氣體。充填 口除了JIS、CGA等各種規(guī)格外，還可支持潔凈型規(guī)格。

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SUS-55L型不銹鋼制隔膜閥

【適用氣體】

腐蝕性，毒性，易燃，高純氣體（半導(dǎo)體）：NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】 清潔性能，耐腐蝕性更出眾

①氣體很難在閥體內(nèi)滯留，閥的主件不會(huì)受到功能損壞或腐蝕。

②可保證氣體純度，對半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.35

①適用于液化氣的一般流量閥門，也可用于壓縮氣體。

②進(jìn)出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 可減輕因扭力過大導(dǎo)致的墊片變形。

參數(shù)：